模块化设计：
在洁净室回风管道或FFU进风口嵌入 可更换化学过滤模块，降低系统改造难度。
采用 并联过滤单元，支持在线更换，避免停机。
3. AMC监测与反馈控制
实时监测系统：
部署 在线质谱仪（AMS） 或 傅里叶红外光谱仪（FTIR），监测关键AMC种类（如甲苯、异丙醇浓度）。
在敏感区域（如光刻区）设置 硅片暴露测试点，定期检测表面分子沉积量。
智能联动控制：
根据AMC浓度数据，自动调节化学过滤器风阀开度或启用备用过滤单元。4. 维护与再生策略
过滤器寿命管理：
通过 重量法+电阻法 判断活性炭饱和程度，结合AMC传感器数据预测更换周期。
对可再生的化学滤芯（如部分沸石滤材）进行 高温脱附再生，降低更换成本。
系统验证：
每季度进行 AMC扫频测试（SEMI F21-1102标准），确保污染物浓度低于阈值（如NH3<1ppb）。一、系统设计优化
合理布局与分区：根据洁净室的工艺流程和洁净度要求，合理划分不同洁净等级的区域，减少高洁净度区域的面积。例如，将污染源集中布置在特定区域，便于局部加强净化措施。
优化气流组织：合理布置送风口、回风口和排风口，确保气流均匀分布，避免涡流和死角。对于单向流洁净室，采用满布高效过滤器送风顶棚和连续孔板回风地沟；对于非单向流洁净室，采用上送下回或上送上回的气流组织形式。
精确计算送风量：根据洁净室的面积、高度、人员数量、设备发尘量等因素，精确计算所需的送风量和换气次数。避免过度设计，减少不必要的能源消耗。
二、设备选型与配置优化
选择高效过滤器：采用高效颗粒空气（HEPA）过滤器或超高效颗粒空气（ULPA）过滤器，提高空气过滤效率，降低系统压降。
采用节能型空调设备：选用高效节能的空调机组、风机、压缩机等设备。例如，变频空调机组可以根据实际需求调节制冷量，实现节能。
配置热回收装置：在洁净室空调系统中安装热回收装置，如板式热交换器、转轮热交换器等，回收排风中的热能用于预热或预冷新风。
三、运行控制优化
智能控制系统应用：引入智能控制系统，实时监测洁净室内的温度、湿度、微粒浓度等参数。根据监测数据自动调节空调系统、风机、过滤器等设备的运行状态。
动态调整运行参数：在非生产状态下，根据洁净室内的实际污染水平，动态调整换气次数和送风量。例如，减少静态下的换气次数，降低能源消耗。
优化空调系统运行时间：根据洁净室的生产计划，合理安排空调系统的运行时间。在非生产时段，可以降低系统的运行频率或关闭部分设备。
四、维护管理优化
定期维护与校准：定期对空气净化系统的关键设备进行维护和校准。例如，定期更换过滤器、清洗冷凝器和蒸发器，确保设备处于良好运行状态。
加强人员培训：提高操作人员对洁净室空气净化系统重要性的认识，使其能够正确操作和维护设备。减少人为因素导致的系统故障和能源浪费。
建立环境质量管理体系：明确洁净室空气净化系统的管理责任分工、流程标准和记录保存要求。确保系统的运行和维护工作规范、有序进行。
五、AMC控制措施优化
AMC（气态分子污染物） 包括酸性气体（SOx、NOx）、碱性气体（NH3）、VOCs、硅氧烷等，需针对性控制：
1. AMC源头控制
工艺隔离：
将产生AMC的工艺设备（如蚀刻机、清洗机）置于 负压隔离舱 内，独立排风处理。
使用 低挥发材料：设备润滑剂、密封胶等选用无硅、低VOCs型号。
新风预处理：
室外新风经 化学过滤器（如活性炭+浸渍氧化铝）预处理，去除大气中的AMC（如臭氧、硫化物）。
2. AMC过滤技术
化学过滤系统分级配置：
模块化设计：
在洁净室回风管道或FFU进风口嵌入 可更换化学过滤模块，降低系统改造难度。
采用 并联过滤单元，支持在线更换，避免停机。
3. AMC监测与反馈控制
实时监测系统：
部署 在线质谱仪（AMS） 或 傅里叶红外光谱仪（FTIR），监测关键AMC种类（如甲苯、异丙醇浓度）。
在敏感区域（如光刻区）设置 硅片暴露测试点，定期检测表面分子沉积量。
智能联动控制：
根据AMC浓度数据，自动调节化学过滤器风阀开度或启用备用过滤单元。4. 维护与再生策略
过滤器寿命管理：
通过 重量法+电阻法 判断活性炭饱和程度，结合AMC传感器数据预测更换周期。
对可再生的化学滤芯（如部分沸石滤材）进行 高温脱附再生，降低更换成本。
系统验证：
每季度进行 AMC扫频测试（SEMI F21-1102标准），确保污染物浓度低于阈值（如NH3<1ppb）。
模块化设计：
在洁净室回风管道或FFU进风口嵌入 可更换化学过滤模块，降低系统改造难度。
采用 并联过滤单元，支持在线更换，避免停机。
3. AMC监测与反馈控制
实时监测系统：
部署 在线质谱仪（AMS） 或 傅里叶红外光谱仪（FTIR），监测关键AMC种类（如甲苯、异丙醇浓度）。
在敏感区域（如光刻区）设置 硅片暴露测试点，定期检测表面分子沉积量。
智能联动控制：
根据AMC浓度数据，自动调节化学过滤器风阀开度或启用备用过滤单元。4. 维护与再生策略
过滤器寿命管理：
通过 重量法+电阻法 判断活性炭饱和程度，结合AMC传感器数据预测更换周期。
对可再生的化学滤芯（如部分沸石滤材）进行 高温脱附再生，降低更换成本。
系统验证：
每季度进行 AMC扫频测试（SEMI F21-1102标准），确保污染物浓度低于阈值（如NH3<1ppb）。